高精度直线平台 - 1.pdf

智承高精度直线平台，直线电机驱动，高精度和高刚性，应用领域：3C行业，半导体、激光微加工、激光切割、精密光学组装、精密检测。

行程：50-350mm, 负载：5-40kg，重复定位精度：±0.1μm, 水平直线度：±0.1μm， 垂直直线度：±1.0μm