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XY微纳运动平台

STLXY160-L50

产品应用:影像仪、精密检测、精密光学组装、半导体芯片贴装、生物芯片点样、微纳加工、光耦合

  • 直线电机驱动
  • 高精度
  • 行程50~300mm
  • 负载:1~5kg
  • 重复精度:±0.2μm(行程50mm)
  • 定位精度:±1μm(补偿后)

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