内部结构紧凑，高精定位运动平台

应用于：视觉对位、视觉检测、精密装配

• ▪由微型直线电机、微型交叉滚柱导轨、编码器反馈及结构底座组成
• ▪平台的编码器位置反馈可选
• ▪行程10mm,其它行程可定制
• ▪高精度光栅尺，X、Y轴重复定位精度可达±0.3μm