微型XYT系列直线电机对位平台由微型直线电机、微型交叉滚术导轨、编码器位置反馈以及结构底座组成,内部结构极为紧凑,高精定位运动台
适用于:视觉对位、视觉检测、精密装配,亚微米级定位、光学对位平台,力控制。各行业自动化设备点到点高速定位、光学对位、微组装、高速取放、飞针测试、光纤对准等应用。
可根据客户实际需求定制!
行程10mm,其他行程可定制;
高精度光栅尺,X、Y轴重复定位精度可达±0.3um,T轴重复精度±1.2arc-sec;
分辨率可选0.2μm、0.05μm、SINCOS.
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