工作台采用十字叠层结构形式，满足XY两个自由度的运动

直线电机驱动，光栅尺编码反馈

最大速度 500mm/s, 最大加速度1g

采用低膨胀系数、低吸水率的花岗石基台，可获得高标准的尺寸稳定性和吸振性能

进口高刚性直线导轨，可保证长期稳定的精度，同时智承自动化专业的技术团队和检测设备可保证直结导轨的性能稳定发挥